MPS微探针台(Micro Probe Station)尺寸小、重量轻,具备变温测试及真空测试功能,适用于科研工作,也适用于与其他仪器联用,是一款非常有特点的微探针系统。
仪器特点:
工作距离短、尺寸小,带有视窗,可以与各种显微镜联用;配备真空腔,有优异的气密性;配备MFC工艺气路,可以通入多种微量气氛;标准同轴或三轴接口,与各种主流电学测试仪表兼容;多种变温手段,高精度温度控制:-40℃ ~ 200℃ (帕尔帖变温);-40℃ ~ 170℃ (帕尔帖变温);室温 ~ 450℃ (陶瓷加热);室温 ~ 750℃ (陶瓷加热);77K ~ 300K (液氮变温);
应用领域:
与拉曼光谱联用;电致发光或荧光光谱测试(EL, PL);气体传感器(气敏测试);金属-绝缘体相变;光电流扫描;I-V测试;场效应晶体管测试;热传导测试;热磁滞研究;铁电畴转换观测;反射率测试;霍尔效应测试;