3D三坐标测量机名称：Excel 652HC
分类：Micro-Vu 非接触三坐标测量仪
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| 基本规格 | Excel 652HC |
| 量测行程 | X650xY650xZ250mm |
| X，Y轴精度 | U=3.0+L/300mm (L=量测距离) |
| Z轴精度 | U=3.0+L/300mm (L=量测距离) |
| 光学尺分辨率 | 0.1μm |
| 移动速度 | 500mm/s |
| X，Y轴加速度 | 1000mm/s² |
| Z轴加速度 | 500mm/s² |
| 床台材质 | 花岗石 |
| 光学镜头/倍率范围 | 12:1 Programmable Zoom/～14x-400x |
| 承载重量 | 100公斤 |
| 外观尺寸 | 长1311宽1604高1788毫米 |
| 机台重量 | 1350公斤 |
| 环境要求 | 温度20±2°C，湿度30-80% |
| 电源需求 | 93-264VAC, 47-63Hz, 10Amp max. |
3D三坐标测量机：Micro-Vu的高精度视觉量测系统具备强大的功能性，可被广泛的应用在各种量测的需求的机构设计造就了高性能的速度与精度，前瞻性的机电整合技术，运用USB传输，简化了量仪与电脑的沟通几何量测软体提供简易且人性化的接口，让量测、资料转换及报表输出变得容易操作与上手, InSpec 提供免费升级这是一套32位的几何应用软体，利用高速USB来沟通量仪与电脑，明显的功能键配置与固定的视窗安排提供给使用者一个简易的操作接口，就算遇到复杂的工件也轻松胜任，包含各种高灵敏度的全视野量测工具，如圆、轮廓、云线、直线、O型环、弧及椭圆等等
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