气路系统

       气路盘是七星流量计开发的气路输送系统的解决方案，该产品通过对气路原理图的设计，加工和测试，以隔膜阀，调压阀，压力传感器，过滤器，MFC等零部件实现对多种工艺气体的压力调节，纯度过滤，流量控制等功能，目前市场上常用的为传统VCR型气路盘和气体输送集成控制系统(Integrated Gas System)，即IGS气路盘，这两种气路盘业务七星流量计都有能力承接。

　　随着半导体领域的发展，对零部件小型化的提出了更高的要求，传统的VCR气路盘难以满足要求，IGS型气路盘应运而生，它具有气体直方向运输，体积小，便于安装维护等特点，是未来气路输送系统发展的方向;经过MFC多年研发经验的沉积，七星流量计的IGS气路盘具有高密封性，高精度，集成度高等优点，并可以依托七星流量计建立的特气实验室对特殊气体进行研究测量，保证IGS气路盘的特殊气体控制的高准确性。

气路系统优势：

• 提供定制化服务。

七星流量计具有IC级复杂气路盘的设计能力，可以按照客户的需求进行气路盘的设计更改和定制化服务。

• 多年的MFC生产经验，保证气路盘的品质。

七星具有多年研发和生产MFC的经验，可嫁接到气路盘的设计和生产中，对气路盘的装配和测试工艺不断优化，保证气路盘的品质。

• 良好的性价比。

同等难度的气路盘，七星流量计的*同类竞品。