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结构特点 | • 采用SS304不锈钢真空腔体,尺寸:φ360×480mm H • 底部样品台电动升降,装卸样方便快捷 • 真空度:10-6Torr • 工作温度:2000℃
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工作电源 | • AC380V 三相 • 大功率:30KW |
加热元件 | • 加热区域尺寸:φ130×200mm H • 可放样品大尺寸:φ105mm×60mm H • 温度均匀性:从Φ104mm石墨坩埚中心到边缘的温度误差≦±8℃ • 加热元件:石墨 • 加热元件工作温度:石墨加热元件 2000℃
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放置样品石墨坩埚 | • 标配中配置两个放置样品的石墨坩埚(含盖子) • 石墨坩埚1尺寸:外径Φ109*内径Φ104*内部高度50mm(含盖子) • 石墨坩埚2尺寸:外径Φ109*内径Φ104*内部高度5mm(含盖子)
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温度控制 | • PLC+人机界面控制 • C型热电偶进行测温和控制 • PID控制 • 具有超温及断偶报警功能 • 控温精度:±1℃ • 可安装PC控制软件对数据进行实时采集(需另购) • 升温速率:室温—1000℃ ≤10℃/min 1000—1600℃ ≤8℃/min 1600—2000℃ ≤5℃/min
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真空度 | • 冷态下真空度: |
前级机械泵 | • 型号:VRD-24 • 抽气速率:(24m3/h)6.6L/S • 电机功率:750W 极限压强4×10-2 Pa |
分子泵 | • 型号:FF-160/620 • 极限压强:6×10-6 Pa • 启动时间:<5min • 额定转速:27000转/分 • 冷却方式::水冷 • 抽气口接口尺寸:LF160 |
分子泵控制器 | • 型号:TCP-II • 加速时间:5分钟 • 输出频率:0.0----1300HZ |
产品尺寸 | 1300mm L×1000mm W×1700mm H
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产品质量 | 520kg |
质量认证 | CE认证 |
质保期 | 一年保质期,终生维护(产品相关易耗品不在保修范围内) |