一、 产品介绍
1. 设备采用压力机与加热室构成一体式扩散焊炉,压力供给系统配装进口压力传感器,压力控制精度高,配装位移10μm高精度位移传感器,位移控制准确,独立的补压控制系统,确保扩散泵恒定压力准确;
2. 专业的动密封结构,确保设备压力传递杆在有效位移过程中长期使用无泄漏;
3. 上/下压头(或称:上/下压板、热压平台)选用TZM合金材料;
4. 上/下压头平面度控制在±5μm内;
5. 压头方便安装和拆卸性,也可不必加压作为单独的钎焊炉使用,以便需方在设备使用时具备多样性;
6. 设备配备2bar-10bar气体压力下外循环快速冷却系统,保证工件热压完毕快速冷却,高效运行。
二、 产品/行业应用
1. 模具
2. 医疗
3. 换热器(PCHE)
4. 半导体
5. 冷却板
6. 航空航天
7. 造船
三、 材料应用
1. 铝镁合金
2. 钛合金
3. 不锈钢陶瓷
4. 铜
5. 非金属材料
四、 特性/优点
1. 有效体积可按客户要求设计
2. 工作温度2300℃
3. 可控硅控制器使加热元件的功效得到优化
4. 简单安全的工艺操作过程
5. 多压杆结构设计,压力分布更均匀
6. 多压力传感器设计,有效测量工艺压力
7. 极限真空度 好于5 x 10-6 mbar
8. 加热过程的全自动控制
9. 有效均温区温度均匀性好于+/-5℃
10. 出色的节能效果,漏率低于10-4mbar l/s
11. 压板和所有的加压部件可以更换,高度可调
12. 压板材质是TZM(钛锆钼)合金或者CFC高强碳碳复合纤维
13. 较短的抽真空和工艺时间
14. 通过计算机引导工艺菜单,并能够记录数据和存储数据
五、 选项功能:
1. 强制快速冷却系统
2. AMS2750E/SAT
3. 气体分压功能
4. 氢气洗炉功能
5. 扩散焊工艺支持
六、 产品规格
参数/型号 | DB-223 | DB-446 | DB-556 | DB-666 | DB-767 | DB-868 | DB-969 | DB-10610 |
有效热区 W×H×L(mm) | 200×200×300 | 400×400×600 | 500×500×600 | 600×600×600 | 700×600×700 | 800×600×800 | 900×600×900 | 1000×600×1000 |
温度(℃) | 1300 | 1300 | 1300 | 1300 | 1300 | 1300 | 1300 | 1300 |
压力吨位(T) | 30~300 | 30~300 | 50~500 | 50~500 | 200~1000 | 200~1000 | 200~1000 | 200~1000 |
温度均匀性(℃) | ±5 | ±5 | ±5 | ±5 | ±5 | ±5 | ±5 | ±5 |
真空度(Pa) | 6.7×10-4 | 6.7×10-4 | 6.7×10-4 | 6.7×10-4 | 6.7×10-4 | 6.7×10-4 | 6.7×10-4 | 6.7×10-4 |
压升率(Pa/h) | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤0.5 |
压头数量 | 单/双 | 单/双 | 单/双 | 单/双 | 单/双/四 | 单/双/四 | 单/双/四 | 单/双/四 |
上下压头平行度(mm) | ≤0.1 | ≤0.1 | ≤0.1 | ≤0.1 | ≤0.1 | ≤0.1 | ≤0.1 | ≤0.1 |
压力精度 | ≤±0.5% | ≤±0.5% | ≤±0.5% | ≤±0.5% | ≤±0.5% | ≤±0.5% | ≤±0.5% | ≤±0.5% |
位移精度(mm) | H±0.05 | H±0.05 | H±0.05 | H±0.05 | H±0.05 | H±0.05 | H±0.05 | H±0.05 |
气冷压力(bar) | 2~10 | 2~10 | 2~10 | 2~10 | 2~10 | 2~10 | 2~10 | 2~10 |