仪技术参数
| 结构 |
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| 输入电源 | 220VAC 50/60Hz, 单相 2000W (包括泵) |
| 溅射电源 | 安装有两个溅射电源 直流（DC）电源：500W，针对于制作金属膜 射频（RF）电源：600W，可制作氧化物和金属膜 同时可选配300W的射频电源   |
| 磁控溅射头 | 仪器中安装有2个磁控溅射头，而且都带有水冷夹层，可通入冷却水对靶材降温 其中一个溅射头与射频电源相连接，主要是溅射绝缘性靶材 另一个溅射头与直流电源相连接，主要溅射导电性靶材 靶材尺寸要求：金属靶：直径为50mm,zui大厚度1.5mm 陶瓷靶：直径为50mm,zui大厚度6mm 仪器中标配一个不锈钢靶和氧化铝陶瓷靶 溅射头所需冷却水：流速10ml/min（仪器中配有一台流速为16ml/min的循环水冷机）    也可以根据自己的要求选择2个射频溅射头或3个射频溅射头，订购前需于本公司销售人员 |
| 真空腔体 | 真空腔体：300 mm Dia x 300 mm h，采用不锈钢制作 观察窗口： 100 mm diameter 腔体打开方式采用上顶开，使得换靶更加容易  |
| 载样台 | 载样台尺寸：140mm dia.（zui大可放置4"的基底） 载样台可以旋转，其速度为：1 - 20 rpm （可调） 载样台zui高可加热温度为500℃，控温精度为+/- 1.0 °C |
| 气体流量控制器
| 仪器内部安装有2个质量流量计 量程为：0-200sccm 气体流量设置可以在6英寸的触摸屏上进行操作 |
| 真空泵系统 | 配有一套分子泵系统（德国制作），采用一键式操作
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| 薄膜测厚仪 | 一个精密的石英振动薄膜测厚仪安装在仪器上，可实时监测薄膜的厚度，分辨率为0.10 Å LED显示屏显示，同时也输入所制作薄膜的相关数据  |
| 外形尺寸 | L1300mm× W660mm× H1200mm |
| 重量 | 160 kg |
| 质保期 | 一年质保期，终生维护 |
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